top of page
XRD.jpeg
薄膜XRD装置

Malvern Panalytical製 Empyrean

装置構成:
  • 1.8 kW Cu管球
  • Ge 220ハイブリッドミラー (Ka1モノクロ化)
  • 3 軸 (χ、φ、Z) クレードル
  • ダブルアーム検出器: Xe検出器 (0次元), PIXcel3D (2次元)
上記装置構成により、作製した試料の薄膜で以下のX線回折測定が可能。
  • 対称面測定
  • ロッキングカーブ測定
  • 非対称面測定 (co-planar & skew配置)
  • X線反射率測定
  • 高速逆格子マップ測定
bottom of page