顕微鏡露光装置（暗室内）

アームスシステム製   UTA-IIIA-53M-SET

顕微鏡ステージ、対物レンズなど一部を自作で改良。

プロジェクタと顕微鏡を用いたステッパ型の露光装置で、フォトリソプロセスに

おける露光と形成パターンの確認に使用。

マスクアライナと比較してパターン形成領域が限定される代わりに、

微小パターンの形成とマスク合わせが得意である。